网友提问 :请问老师,贵司目前现有的汤姆逊激光散射光谱仪分辨率能达到多少?能用于DUV光刻机上面的光源吗?贵司目前这项产品在测试吗?
2024-06-06 13:00:30
奥普光电 (002338): 回答:超高分辨率激光汤姆逊散射光谱仪为国家重点研发计划项目,目标是研制出原理样机及工程样机,研发周期从2023年12月至2026年11月,目前尚未形成产品。感谢关注。
2024-06-21 20:39:36
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