网友提问 :8、TOPCon工艺路线选择?
2023-03-22 00:00:00
永和智控 (002795): 回答:前几年的四种路线,目前已收敛成两种——LPCVD路线和PECVD路线。PECVD路线的优势在于:比现在大规模量产的LPCVD路线的设备投资更低。LPCVD路线也不断迭代,双插工艺即将成熟,LP环节将实现产能翻倍,如此将比PECVD路线生产成本的设备投资更低。
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