网友提问 :28、根据天眼查显示,公司研发并申请专利的 ArF 湿法光刻胶灵敏度达 45-60nm,边缘粗糙度为 2-3 纳米,是否标志着公司 ArF 光刻胶已达国内领先水平?
2023-05-09 00:00:00
上海新阳 (300236): 回答:尊敬的投资者:你好!公司开发的 ArF 湿法光刻胶主要是为了满足国内集成电路产业的发展需要,有些指标处于国内领先水平。
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