网友提问 :53、请问公司购买了多少台光刻机,分别是什么型号?
2023-05-09 00:00:00
上海新阳 (300236): 回答:尊敬的投资者:你好!公司购买四台光刻机:用于 KrF 光刻胶测试的光刻机(型号:Nikon-S205C);用于 ArF 干法光刻胶测试的光刻机(型号:ASML-1400);用于 ArF 湿法光刻胶测试的光刻机(型号:ASML XT 1900 Gi);用于 I 线光刻胶测试的光刻机(型号:Nikon-i14)。
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