网友提问 :61、21 年 EUV 光刻胶已经在和国外团队做前端研发。经过两年进展如何?
2023-05-09 00:00:00
上海新阳 (300236): 回答:尊敬的投资者:你好!公司主要进行 EUV 光刻胶的基础理论、形成机理、性能观察、配方筛选、制备方法等基础性研发工作。目前已经掌握基本原理,并针对不同方向分别进行了树脂等的研发,且已取得阶段性曝光结果,更多地工作还在持续进行当中。
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