网友提问 :你好,请问公司ArF光刻胶产品是干法还是湿法?能适用的集成电路制程范围是多少?是否符合研发预期?谢谢!
2024-03-20 21:52:18
南大光电 (300346): 回答:感谢您的关注!目前公司ArF光刻 胶已在下游客户存储芯片50nm和逻辑芯片55nm技术节点的产品上通过认证,同时多款产品正在下游客户进行认证,具体请关注相关信息披露。
2024-03-22 15:46:27
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