网友提问 ：国家重点研发计划“8英寸硅基压电薄膜及压电MEMS传感器制造工艺平台”项目，这个是有公司牵头的，请问现在进度如何？还是刚刚开始？主要的应用是在哪方面？
2024-05-14 21:38:27
赛微电子 (300456): 回答：您好，该项目正在进行中，项目主要针对压电 MEMS 传感器对量产工艺平台的迫切需求，解决工艺参数、材料掺杂、改性对压电薄膜力电特性与高灵敏度响应的调制机理与增敏效应等关键科学问题。在万物互连、万物传感的信息时代，压电材料广泛地应用于微机械系统、传感器、声波滤波器及振动控制等领域。谢谢关注！
2024-07-07 16:01:05