蓝晓科技 (300487): 回答：超纯水均粒树脂生产技术难点在于均粒聚合物白球的制备。规模生产的均粒聚合物白球通常采用喷射法，由于专利、设备设计和制造精度等问题，一直为国外少数企业垄断。目前，公司超纯水均粒树脂指标与国外品牌相当，出水质量达到 ASTM 的技术标准，已开始工业化国产替代。由于面板、芯片等领域投资大、质量要求苛刻、前期验证周期长，规模化营收需要一定时间。ASTM（American Society for Testing and Materials，美国材料与试验协会），前身是国际材料试验协会（International Association for TestingMaterials, IATM）是当前世界上最大的标准发展机构之一， 是一个独立的非盈利性机构。ASTM 的会员已近 34000 个，其中约 4000 个来自美国以外的上百个国家。ASTM 已制定 10000 多项标准。下表为 ASTM 规定的超纯水关键技术标准与采用蓝晓科技均粒树脂生产出超纯水的指标对比。对比表明，使用公司均粒树脂的制水水质达到 ASTM 的标准。ASTM 规定的超纯水关键技术标准与蓝晓科技均粒树脂生产出超纯水对比表Parameter参数TypeE.1Type E1.1Type E 1.2Sunresin蓝晓出水指标Application应用领域PCP、LEDOLED Mircons OLED/MicronsResistivity, 25℃(MΩ.cm)电阻率18.1 18.2 18.2 18.2TOC (μg/L)(on-line)总有机碳（在线）5 2 1 0.45~0.70Dissolved oxygen(μg/L)溶解氧25 10 3 0.9On-line particles /L (micron range)在线颗粒物含量0.05-0.1 - 1000 200 30-500.1-0.2 1000 350 <100 10-25Silica Dissolved (μg/L)溶解硅3 1 0.5 0.10-0.12Anions andAmmonium (μg/L)阴离子（单个）含量0.1 0.1 0.05 <0.05Metals by ICP/MS 0.05 0.02 0.005 <0.005(μg/L)阳离子（单个）含量指标说明：1、Resistivity 电阻率：18.2 MΩ.cm 是纯水的理论电阻率极值，此时水中只有 H+和 OH-。该指标越接近 18.20，表明水的纯净度越高。2、TOC 总有机碳:指水中各种有机物含碳总量，用以表征水中有机污染物含量的关键指标。数值越低，表明水质越纯净。3、Dissolved oxygen 溶解氧：指水中溶解的氧含量。溶解氧可能破坏加工面已形成的氧化层，并增加微生物感染的风险。该数值越低，对保障加工良品率越有利。4、On-line particles /L (micron range)在线颗粒物含量：水中微量的颗粒物沉积在半导体表面，易造成半导体短路等问题。该数据越低，对保障半导体器件质量越有利。5、Silica Dissolved 溶解硅：水中溶解的硅含量，是超纯水重要的杂质含量指标之一。水中溶解硅易与金属离子键合形成颗粒物因而影响器件质量。溶解硅对半导体器件性能和成品率产生重要影响。该数值越低，表明水质越纯净。6、Anions and Ammonium 阴离子含量：水中阴离子的存在，可能改变基板电阻率，引起氧化层击穿，影响沉积过程、腐蚀等一系列负面影响。该数据越低，越有利于保证良品率。7、Metals by ICP/MS 阳离子含量：水中阳离子的存在，可能改变基板电阻率，引起氧化层击穿，影响沉积过程、腐蚀等一系列负面影响。该数据越低，越有利于保证良品率。ASTM 标准所列超纯水主要用于制备工艺化学溶液、晶圆清洗和浸没式光刻，对产品的良品率有重要影响，生产上述电子级超纯水使用的抛光混床采用均粒阴阳树脂。由于均粒树脂优异的动力学性能、运行压差小、强度高等特殊性能，是电子级超纯水制备中的必须材料。公司在电子级和核级超纯水领域实现商业化销售，逐步开始向京东方、华星光电等下游客户进行稳定供货，2021 年达到千万级别销售收入，在部分客户生产线中实现对国际品牌的替代，与国内芯片厂家的测试及技术洽谈也在进行中。另外，公司采用国产主设备及自产均粒系列吸附分离材料建成超纯水中试实验室，经数月运行出水电阻率达到18.20MΩ·cm，将为公司产品涉水应用提供高等级应用测试平台。

2022-05-10 00:00:00