网友提问 :Q14、请问光刻机做为高功耗的设备之一,光刻机使用极端的光源,需要通过等离子体放电产生,这种过程会产生大量的热和光能量,公司是否有了解过这方面的散热系统以及技术,公司是否考虑把液冷系统用于光刻机上的散热?
2023-09-19 00:00:00
高澜股份 (300499): 回答:A:您好!公司暂未将热管理技术应用至光刻机设备中。公司将发挥在传统电力领域热管理技术基因优势,加大研发投入,加快推进数据中心热管理以及储能热管理等新兴领域的研发及迭代工作。感谢您的关注!
2023-09-19 00:00:00