网友提问 ：光刻机由三大核心系统，数万个零件组成，是产业链各环节顶尖公司通力合作的成果。
1）光源方面，DUV采用准分子激光器，技术掌握在Cymer和Gigaphoton手中，国内科益虹源打破垄断；EUV光源是通过高功率CO2激光器轰击Sn滴而来，高功率激光器为核心组件。
2023-09-10 20:59:28
维宏股份 (300508): 回答：您好。光刻领域属于超精密加工领域。我们激光目前还主要是大幅面的宏加工。我认为，只从商业角度看，光刻机的控制系统，很难由独立的第三方控制系统提供产品。单套控制系统产品价格肯定会更高，但是光刻机的出货量太小了，而且摩尔定律可知，它的升级迭代速度又很高。所以，对于第三方独立控制系统公司而言，投入产出比会很低，收益率不划算。更可能的情况是，光刻机整机厂商自研。
2023-09-11 11:03:15