网友提问 :玻璃基板,是一种表面极其平整的薄玻璃片。该材料属于半导体电子玻璃,目前主要用于tgv(玻璃通孔)封装工艺。该工艺流程中包含基板准备、孔洞制作、金属填充、磨平与抛光、电镀、后处理等环节。其中磨平与抛光环节主要内容为:通过研磨和抛光等工艺,将填充金属与玻璃基板表面磨平,确保信号传输的可靠性和封装的平整度。请问公司及参股公司东莞领航电子的抛光产品是否可以用于tgv封装中的玻璃基板的抛光处理?
2024-05-18 00:15:46
金太阳 (300606): 回答:您好,公司参股子公司领航电子主要业务为衬底(如硅晶圆、碳化硅、氮化镓等)制造过程中的抛光液以及芯片制造工艺中的CMP抛光液。参股子公司已完成IC、硅晶圆、碳化硅等半导体级抛光液的性能验证并具备量产能力。其中部分CMP抛光液产品已实现对外销售,其余产品正在国内头部客户验证导入中。感谢您的关注!
2024-06-30 23:42:20