网友提问 ：您好，请问krf光刻胶是否已经进入了量产，客户通过验证了没有？另外，arf光刻机是否21年就已经购入？目前研发进展如何？有没有缺陷检测仪等相关设备？今年arf是否可以投入认证？
2023-03-08 20:51:47
晶瑞电材 (300655): 回答：尊敬的投资者：公司子公司瑞红（苏州）电子化学品股份有限公司共拥有以5台光刻机为核心的光刻胶研发测试平台，覆盖紫外宽谱、g线、i线、KrF及ArF光刻胶检测，可为公司产品研发测试、客户验证等提供全面的核心设备保障。公司KrF高端光刻胶部分品种已量产；ArF高端光刻胶研发工作已启动。关于公司产品研发和客户认证进展，请关注公司定期报告等公告。谢谢您的关注！
2023-03-13 16:18:10