网友提问 :6、光刻胶的最新进展情况?
2023-04-28 00:00:00
晶瑞电材 (300655): 回答:答:公司 i线光刻胶已向中芯国际、合肥长鑫等国内的知名大尺寸半导体厂商供货;KrF 光刻胶生产及测试线已经建成,且 KrF 光刻胶部分品种已于2022 年开始量产,今年将发力拓展新客户;公司于 2020 年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目,并于 2020 年下半年购买了 ASML1900 Gi 型光刻机及配套设备,目前 ArF 高端光刻胶研发工作在有序开展中。
2023-04-28 00:00:00