网友提问 :业界开始采用极紫外光源(EUV:ExtremeUltravioletLight)来进一步提供更短波长的光源。目前主要采用的办法是将准分子激光照射在锡等靶材上,激发出13.5nm的光子,作为光刻机光源。请问公司有没有金属 锡靶材 产品?
2023-03-10 12:43:18
阿石创 (300706): 回答:您好!感谢您对阿石创的关注。
公司产品种类齐备,锡及锡合金靶材产品为其中的一类。
谢谢!
2023-05-06 16:12:49
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