同飞股份 (300990): 回答：答：尊敬的投资者您好，半导体器件制造设备包括单晶炉、晶圆成型设备、抛光机、光刻机、刻蚀机、离子注入机、清洗机、薄膜沉积设备、引线键合机、晶圆划片机等，是一种极其精密的机电产品，系统的温度波动大小关系到半导体产品的良品率和精度。半导体器件制造设备专用温控设备是针对其高精度、高可靠性而设计开发的专用设备，能够不间断的提供温度可控的循环液，保障半导体器件制造设备腔室所需的工艺加工温度，满足温度变化范围大、负载瞬间变化、设定温度随时改变等工况要求，能够达到±0.1℃甚至更高温控精度，主要应用于刻蚀、PVD、CVD 等半导体器件加工工艺过程。感谢您的关注。

2023-05-30 00:00:00