网友提问 ：董秘你好，有看到上海微电子官微发布，上海微电子28nm精度光刻机已经通过技术认证，并在光源技术方面与英诺激光展开合作，请问是否属实？谢谢
2023-11-23 15:24:42
英诺激光 (301021): 回答：尊敬的投资者，您好！公司在半导体领域与国外客户开展了深度合作，并已批量供应了应用于碳化硅退火制程的激光器，积累了丰富的行业经验。公司时刻关注国内半导体行业发展趋势，已在硅晶圆前道检测环节开展合作。如需了解相关进展信息，请以公司公告为准。感谢您的关注！
2023-11-28 08:56:06