万业企业 (600641): 回答：尊敬的投资者，您好！当前CIS市场进入了蓬勃发展的时期，手机多摄像头配置、汽车智能驾驶、VR/AR可穿戴设备、智慧安防、机器视觉等新兴应用催生CIS市场不断壮大。根据Yole的数据分析，全球CIS市场的规模预计将从2022年的213亿美元增长至2028年的290亿美元，年复合增长率达到5.1%。CIS产品对金属污染与注入角度有很高的要求，凯世通的多项技术创新，满足了CIS对离子注入机的技术要求，并在2024年一季度推出自主研发用于CIS器件的低能大束流离子注入机，该产品于2023年第四季度收到客户订单，并于2024年3月快速向客户进行交付。该产品是基于已批量验证的iStellar通用注入平台与光路系统，设备成熟稳定，同时具备卓越的金属污染控制、高精度注入角度控制等差异化优势。 后续，凯世通将进一步完善离子注入机的产品矩阵，保持细分领域内产品技术领先，包括其中CIS的大束流注入机、中束流离子注入机、氢离子大束流注入机以及面向碳化硅的高温离子注入机等。随着芯片制造工艺不断走向精密化，市场对于集成电路设备的性能提出了更高的技术要求。对离子注入而言，芯片设计的日益复杂，对离子注入机提出更高的技术要求，如高能量、高精度、高均匀度、低污染等，所需的离子注入工序亦相应增加。同时，芯片制程的升级也带来了新的掺杂需求，如SOI、MEMS等特殊工艺，这就需要开发新型的离子注入机来满足。 展望未来2-3年，公司将全力以赴，旨在实现全系列离子注入机的量产应用，包括中束流离子注入机、氢离子大束流注入机以及面向碳化硅的高温离子注入机等，以强化公司在本土半导体设备市场中的竞争力，持续迭代升级、优化现有设备和工艺，力求不断推出面向未来发展需求的新工艺、新设备。感谢您的关注！

2024-06-03 09:33:00