网友提问 :请问现在市场上所谓的清华大学将研制的EUV光刻机和上海微电子研制的DUV光刻机,徐州博康所出品的光刻胶产品是针对以上两种光刻机,还是只针对DUV光刻机?
2024-05-09 13:44:00
华懋科技 (603306): 回答:尊敬的投资者您好。徐州博康目前已配方定型及供货的KrF及ArF-dry/immersion光刻胶产品适配于DUV光刻机。感谢您的关注。
2024-05-09 14:05:00
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