盛剑科技 (603324): 回答：尊敬的投资者，您好！2024年上半年，公司发布真空设备、温控设备、Local Scrubber新产品，为下游客户提供更多自主设备选择。Local Scrubber完成燃烧+水洗双腔机型的研发及内部测试，可覆盖半导体多个工艺段的应用场景；积极响应客户对设备小型化、绿色节能、超低排放等技术需求，推进等离子+水洗双腔机型在某存储芯片头部客户Etch工艺端的应用验证及订单转化，该机型在处理半导体含氟化物等方面具备优势；启动针对减压外延工艺的Local Scrubber+真空泵一体机开发立项。

2024-09-06 14:28:00