网友提问 :涛总,能否介绍一下公司晶片光刻工艺的最新进展?
2022-05-16 15:05:00
泰晶科技 (603738): 回答:您好,感谢您的提问!公司以MEMS光刻技术为牵引,进一步优化光刻工艺流程,实施光刻产线生产设备的全面自动化改造,一批自主研发的自动化设备全面投产,实现关键核心设备完全自主知识产权。公司在石英晶片技术上持续精进,kHz和MHz同步发力,公司掌握了生产微型化、高频化、高稳定性石英晶片所需的先进光刻工艺。谢谢!
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