网友提问 ：请问公司现有的前道检测设备和重点研发微观缺陷检测设备能否根据VLSI Research 的统计分类进行分类并说明（国内机构不懂你们的分类）：纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩膜版缺陷检测设备、关键尺寸量测设备、电子束关键尺寸量测设备 套刻精度量测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备、电子束缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。
2023-05-04 08:38:42
天准科技 (688003): 回答：您好，感谢对公司的关注。MueTec的产品主要面向半导体晶圆的前道环节，包括关键尺寸量测设备、套刻精度量测设备、薄膜厚度测量设备、掩膜版检测设备、红外透射式光学检测设备等。
2023-05-04 08:38:42