网友提问 :日本对euv掩膜版设备进行了限制,MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代
2023-05-29 15:23:34
天准科技 (688003): 回答:您好,感谢对公司的关注。Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺,目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。
2023-05-29 15:23:34
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