网友提问 ：据新闻报道，公司子公司muetec之前中标上海新微光刻对准精度检验机是否属实？能否简要介绍一下公司子公司muetec生产的光刻对准精度检验机？
2023-06-15 08:47:00
天准科技 (688003): 回答：您好，感谢对公司的关注。Muetec于2021年中标上海新微套刻误差量测设备。Muetec的套刻（Overlay）误差量测设备可覆盖65-90nm工艺节点，目前公司苏州团队和MueTec团队正在合作开发更先进制程的套刻误差量测设备。
2023-06-15 08:47:00