网友提问 :公司子公司muetec的宏观缺陷检测产品是否可以在光刻过程中实现晶圆检测?
2023-06-26 09:01:01
天准科技 (688003): 回答:您好,感谢对公司的关注。MueTec的产品面向半导体前道晶圆的量测与检测,其中Argos系列、Rembrandt系列属于宏观瑕疵检测设备。光刻过程中的检测属于微观瑕疵检测。
2023-06-26 09:01:01
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2023-06-15 08:47:00
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