网友提问 :28nm的明场缺陷检测设备国内是否有其他厂商目前已经有能力生产交付?谢谢。
2023-09-06 08:24:03
天准科技 (688003): 回答:您好,感谢对公司的关注。近日,天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用,28nm节点检测设备正在研发中。
2023-09-06 08:24:03
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