网友提问 ：管理层好，由于公司刻蚀设备的一些关键零部件还需要外采，那么刻蚀设备的核心技术难点在于哪些地方？公司在其中掌握了哪些核心技术？
2022-12-09 14:16:00
中微公司 (688012): 回答：您好，在逻辑集成电路制造环节，公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备已运用在国内外知名客户 65 纳米到 5 纳米及更先进的芯片生产线上；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出 5 纳米及更先进刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。公司正在开发的用于逻辑器件大马士革刻蚀及用于极高深宽比应用的刻蚀机，谢谢您的关注。
2022-12-09 14:39:00