网友提问 ：4、请问公司在薄膜沉积领域的研发布局和战略规划是怎么样的？
2023-02-28 00:00:00
中微公司 (688012): 回答：答：公司开发了MOCVD设备，有超过十年做单晶硅外延设备的经验，所以我们现在紧锣密鼓开发在硅和锗硅方面在集成电路需要的EPI设备。因为我们有长足的薄膜设备经验，我们有信心能开发出很好的EPI设备。另外一个我们开发的是导体类的沉积设备LPCVD，叫低压热化学的反应器，目前已经在客户端验证，从LPCVD做到ALD都是围绕着硅的金属化合物的沉积，导体类的沉积会是我们目前开发设备的重点。
2023-02-28 00:00:00