网友提问 :公司2022年年报披露已布局薄膜沉积领域中的EPI,能否详细介绍一下最新进展?
2023-04-24 17:00:53
中微公司 (688012): 回答:您好,公司组建的EPI设备研发团队,通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈,已经形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。目前公司EPI设备已进入样机的设计,制造和调试阶段,以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。谢谢您的关注。
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