网友提问 :公司2022年年报披露已布局薄膜沉积领域中的EPI,能否详细介绍一下最新进展?

2023-04-24 17:00:53

中微公司 (688012): 回答:您好,公司组建的EPI设备研发团队,通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈,已经形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。目前公司EPI设备已进入样机的设计,制造和调试阶段,以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。谢谢您的关注。

2023-04-24 17:00:53

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中微公司
法定名称:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
公司简介:
中微半导体设备(上海)有限公司成立于2004年5月31日,是一家面向全球的微观加工高端设备公司。
经营范围:
高端半导体设备的研发、生产和销售。
注册地址
上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
办公地址
上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号

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