网友提问 ：看到贵司2022年年报，显示正在开发ICP刻烛设备7-5nm，那么目前已有ICP刻烛设备可以到什么先进制程？
2023-04-24 17:00:53
中微公司 (688012): 回答：您好，公司已开发单反应台ICP刻蚀设备和双反应台ICP刻蚀设备，产品已经在先进逻辑芯片、DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片制造中不断拓展刻蚀应用范围，公司ICP刻蚀设备目前已在超过20个客户的逻辑、DRAM和3D NAND等器件的生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的量产，并持续扩展到更多刻蚀应用的验证。更多进展情况请关注公司披露的公告。谢谢您的关注。
2023-04-24 17:00:53