网友提问 :贵司刻蚀设备能否满足先进制程逻辑芯片7nm所有需求吗?或者能覆盖多少?
2023-11-24 17:05:36
中微公司 (688012): 回答:您好,公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多工艺的制程要求。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。谢谢您的关注。
2023-11-24 17:05:36
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2023-11-07 16:56:52
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