网友提问 ：贵司刻蚀设备能否满足先进制程逻辑芯片7nm所有需求吗？或者能覆盖多少？
2023-11-24 17:05:36
XD中微公 (688012): 回答：您好，公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多工艺的制程要求。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。谢谢您的关注。
2023-11-24 17:05:36
XD中微公最新互动问答
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董秘您好！请问贵公司有没有计划研发民用版手机卫星宽带芯片等相关项目?谢谢！
2023-11-24 17:05:36
- 董秘您好，请问贵司的3nm刻蚀机是否已经量产？谢谢
2023-11-24 17:05:36
- Imec公司发布未来10年芯片路线图，标准 FinFET 晶体管将持续到 3nm，然后过渡到新的全栅 (GAA) 纳米片设计，贵司是否有相关方面的规划？
2023-11-07 16:56:52
- Imec公司发布未来10年芯片路线图，未来芯片有3D堆叠化、小芯片（Chiplet）化，贵司是否有相关方面的规划和预研？或者讲讲未来趋势对半导体刻蚀设备有什么影响？
2023-11-07 16:56:52
- 贵司极高深宽比刻蚀设备2014年推出20:1，2018年推出40:1，2021年推出60:1，不知截止到现在能否推出80~100:1吗？或者规划何时可以推出80~100:1？
2023-11-07 16:56:52
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法定名称：
中微半导体设备(上海)股份有限公司
公司简介：
中微半导体设备(上海)有限公司成立于2004年5月31日,是一家面向全球的微观加工高端设备公司。
经营范围：
高端半导体设备的研发、生产和销售。
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