网友提问 ：请问公司目前sige EPI产品进度，预计何时开始验证？
2024-05-22 09:08:00
中微公司 (688012): 回答：您好，公司已经设计并制造出具有自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔。目前公司EPI设备已进入工艺验证和客户验证阶段，以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求，硅和锗硅外延EPI设备、硅片的EPI外延设备等多个新产品，会在近期投入市场验证。
2024-05-22 09:24:00
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中微公司
法定名称：
中微半导体设备(上海)股份有限公司
公司简介：
中微半导体设备(上海)有限公司成立于2004年5月31日,是一家面向全球的微观加工高端设备公司。
经营范围：
高端半导体设备的研发、生产和销售。
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