网友提问 :Q:公司觉得抛光液最大的难点是什么?
2023-02-09 00:00:00
安集科技 (688019): 回答:A:化学机械抛光液具有“难”“专”“多”等特点。“难”主要指技术门槛高、认证时间长,CMP工艺对不同材料的去除速率、选择比及表面粗糙度和缺陷都要求精准至纳米乃至埃(分子级),如此精准的控制需要通过精制、客制抛光液在宏观的抛光机台和抛光垫的作用下完成,其技术难度并不是只靠一个配方、某个原材料或者磨料能完成的,它需要有化学、电化学、物理等多种交叉学科的知识储备,以及不同工艺在应用端的丰富经验。“专”是指不同客户不同集成技术对抛光液的具体需求不同,需要客制化适配具体客户工艺的抛光液,因此客户和供应商联合开发至关重要,同时长期积累的量产经验和客户服务经验也是关键。随着集成电路技术不断推进,下游客户对抛光液的种类和用量需求都在增加,而且新技术、新衬底材料的出现也对抛光材料和抛光工艺提出了更多新的需求,抛光液下游需求越来越呈现“多”的特点。
2023-02-09 00:00:00