芯源微 (688037): 回答：前道涂胶显影设备作为晶圆生产过程中配合光刻机工作的重要工艺设备，其产品结构复杂（包括约十余个功能模块组及配套机器人）、单元众多（百余个功能单元）、配件繁杂（数万余个零部件），同时还要确保平均每小时数千次的机械运动速度。前道涂胶显影设备技术涵盖机械运动、温湿度及内环境控制、系统调度及控制、化学反应及化学品管控等，是多学科高度集成的现代高科技装备，对生产厂商的技术储备、工艺水平提出了较高要求。此外，影响前道涂胶显影机实现量产销售的难点还包括客户端工艺验证，需要协调下游晶圆厂在不影响其生产线正常生产的情况下，提供光刻机、掩膜版、检测设备及程序、客户产品片等资源配合。 公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，通过多年的技术研发创新，目前已掌握了光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、内部微环境精确控制技术、高产能设备架构及机械手优化调度技术、超高温度与超高精度烘烤固化技术、自动光学缺陷检测技术等多项核心技术。 此外，前道涂胶显影机的验证需协调客户端光刻机配合验证，验证成本高昂，因此前道涂胶显影机的客户黏性强、卡位优势较其他半导体设备更为显著。

2023-04-28 16:07:00