盛美上海 (688082): 回答：答：公司热反应的ALD炉管首台去年已经进入客户端，目前结果不错，各项技术数据均达到设计要求，并且能够非常接近甚至部分超过国际大厂的数据指标。总体来说，客户端对公司热反应的ALD产品性能比较满意。CO2超临界清洗设备整体进展较为顺利，该设备公司具有独立IP，产品优点在于能极大节省CO2原料，预估节省量在40%以上。Track设备已经在客户端与光刻机进行对接，公司希望年底左右能完成基本的工艺包括可靠性验证。PECVD设备经过近期几个月的大量测试，结果令人满意，公司将继续和客户端进行紧密沟通，并且希望今年能够在两到三家客户处进行验证环节。

2023-05-31 00:00:00