盛美上海 (688082): 回答：答：TEBO的清洗技术优势主要在于兆声波无破坏清洗，这个技术不光可以用在逻辑制程也可以用在存储制程，此外TEBO还有一个特点，必须和干燥技术相连接，现在主要的两种干燥技术，高温的IPA和超临界CO2，这两个技术公司现在都有，它们和TEBO搭配在一起将形成独特搭档，三者同时拥有的只有盛美一家，希望在未来公司能给国内客户提供一个较为先进的方案，同时希望这个方案在国内验证后能打入国际市场。Tahoe预计今年将会有大的订单量增加，它主要的优点在于和单片相比可以将硫酸的使用量大幅度减少，这是市场客户非常感兴趣的地方，并且这个概念还可以用在别的应用上，算是中国设备公司在全世界的首次发明，希望其不仅在国内市场进行扩展也能在国际市场进行扩展，为全球的半导体生产工艺贡献力量。

2023-05-31 00:00:00