盛美上海 (688082): 回答：答：Track设备已于去年年底出机，目前进展不错，但由于是第一台设备，验证早期过程中存在部分常规问题，公司团队在积极和客户以及合作厂商共同解决这些问题，希望年底这个设备能进入小批量的验证式的生产阶段。公司Track设备的起点较高，未来的目标是达到每小时300片甚至更高的产量。PECVD设备方面，公司也在和客户端沟通共同研发中得到很多进展，一些基本的问题都已解决完毕。未来公司考虑会有两类客户，一个是逻辑电路、一个是存储，同时公司的PECVD设备有一个特点，与国际一流设备结构不同。所以未来公司在PECVD方面将利用公司的差异化技术来满足客户更高的要求，实现均匀性、颗粒性、薄膜应力以及产出等多方面的平衡，PECVD将成为公司巨大的成长点，公司也会重点将PECVD设备推向市场。从销售角度看，PECVD最少要明年才会为公司提供销售贡献，如果要达到高销售贡献度需要到2025年或2026年左右。这几个设备的推出让公司有信心在未来3-5年保持高速增长状态。

2023-08-31 00:00:00