网友提问 :Q8: 请问CMP技术或者设备是否会被很快替代?
2022-10-01 00:00:00
华海清科 (688120): 回答:A:CMP技术本身就是芯片制造到了0.35μm技术节点后诞生的新工艺技术,直至目前最先进的5-3nm制程也仍采用CMP技术进行晶圆全局平坦化,且12英寸晶圆也是目前最先进制程的芯片制造生产线所采用的尺寸标准,因此CMP设备在未来较长时间内不存在技术迭代周期,但是设备中各核心模块的技术和控制系统会不断升级。
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