网友提问 :7、请问公司同一台CMP设备是否可以抛光不同的介质?
2022-12-31 00:00:00
华海清科 (688120): 回答:A:从技术方面考量,同一台CMP设备在某道制作工艺中不可以抛光不同金属介质,可以抛光部分不同的非金属介质;但从实际生产情况考量,由于不同的介质对应抛光、检测、清洗的配置都有差异,通常客户会采购不同的CMP设备以达到更好的抛光效果。
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