网友提问 :6、掩膜版是通过什么方式来加工的?
2021-11-09 00:00:00
清溢光电 (688138): 回答:掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”,加工方式如下:根据客户所需要的图形,用光刻机在掩膜版基板(制作微细光掩膜图形的感光空白板)上光刻出相应的图形,将不需要的金属层和胶层洗去,得到掩膜版产成品,即通过光刻制版工艺,将微米级和纳米级的精细图案刻制于掩膜版基板上制作成掩膜版。
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