网友提问 ：请介绍一下六氟化钨？
2023-04-10 15:01:00
中船特气 (688146): 回答：您好，公司生产的高纯六氟化钨主要应用于大规模集成电路化学气相沉积工艺，其沉积形成的钨导体膜可用作通孔和接触孔的互连线，具有低电阻、高熔点的特点，纯度一般需要达到5N。公司已实现6N级六氟化钨的量产，同时拥有国内最大生产基地。凭借优异的产品品质，公司多年来稳定供应台积电、铠侠、美光、海力士、中芯国际、长江存储等境内外集成电路知名客户，客户覆盖广泛。谢谢！
2023-04-10 15:01:00