中船特气 (688146): 回答：您好，公司生产的碳氟类气体主要有六氟丁二烯、八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等气体。六氟丁二烯主要应用于大规模集成电路先进制程的刻蚀工艺，与传统刻蚀气体相比，六氟丁二烯刻蚀速率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好，在先进制程中应用前景广阔。公司生产的六氟丁二烯产品纯度达4N，产品已进入客户验证阶段；八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等高纯碳氟类气体，纯度均可达5N，主要应用于大规模集成电路制造领域的等离子刻蚀和清洗工艺。谢谢！

2023-04-10 14:32:00