网友提问 :5、客户对六氟丁二烯产品的需求情况?
2024-03-06 00:00:00
华特气体 (688268): 回答:答:六氟丁二烯(C4F6)是新一代蚀刻气体,它可取代CF4用于KrF激光锐利蚀刻半导体电容器图形的干工艺,主要应用于3D NAND的蚀刻,尤其是层数增加后,对C4F6的需求增长更多。
2024-03-06 00:00:00
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2024-03-05 19:18:32
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