网友提问 :Q:请问公司是否有电阻法的碳化硅长晶炉?未来感应法和电阻法使用趋势如何?
2024-01-12 00:00:00
晶升股份 (688478): 回答:A:凭借多年积累的半导体行业专业技术与经验,公司已在碳化硅长晶设备方面形成了丰富的产品序列,包括感应加热、电阻加热等,可满足不同的晶体生长制造工艺需求。目前感应法仍为市场主流,但对于未来大尺寸碳化硅晶体生长来说,电阻法理论上在某些方面存在其优势。现在国内各大衬底厂商正处于工艺摸索和优化阶段,不同工艺下的良率和成本将决定哪种设备会成为未来的主流。作为设备厂商,公司也会快速响应客户需求,不断进行设备的迭代升级以匹配客户最新工艺。
2024-01-12 00:00:00