网友提问 ：公司哪些产品可以用于光刻工序？是否有产品可以用于DUV光源设备、DUV光刻和浸没光刻相关环节？公司近三年芯片制造领域产品的同比增长率各为多少？
2023-10-09 08:51:37
广钢气体 (688548): 回答：尊敬的投资者，您好! 光刻工序是芯片生产的其中一道主要工序， 国内的高端制程大多采用DUV 光源设备进行光刻，而DUV的光刻机基本上都使用浸没式光刻。公司已为多个国内高端制程的客户供气，我司所供的电子大宗气体产品为包括光刻工序在内的全生产流程提供保护气、反应气、环境气、运载气和清洗气等，广泛应用于集成电路制造领域各个生产环节，其中涵盖DUV光刻和浸没式光刻环节。2020-2022 年，公司在集成电路制造领域的销售金额逐年递增，已从2,847.97 万元增长至14.534.12万元，详细信息已在公司招股说明书中披露，敬请参阅。感谢您的关注，谢谢!
2023-10-09 08:51:37