海目星 (688559): 回答：回复：TOPCon 电池的制备工序包括清洗制绒、正面硼扩散、BSG 去除和背面刻蚀、氧化层钝化接触制备、正面氧化铝沉积、正背面氮化硅沉积、丝网印刷、烧结和测试分选，约 12 步左右。其中，氧化层钝接结构制备为 TOPCon 在 PERC 的基础上增加的主要工序，也是 TOPCon 的核心工序，工艺路线大致分为 LPCVD 本征+磷扩（低压力化海目星激光科技集团股份有限公司 投资者调研和媒体采访接待备查文档学气相沉积法）、PECVD 原位掺杂、PVD 原位掺杂（即物理气相沉积法）。要做 TOPCon，钝接结构制备是基础，但要做好 TOPCon，正面硼扩散是相关企业要解决的最大挑战。目前业内主要扩散工艺有一次激光掺杂、二次激光硼扩、丝网印刷等，但后两者都存在工艺原理上的缺陷，二次硼扩成本、耗能、耗时“三高”，操作繁琐，丝网印刷精度不足，因此一次激光掺杂被业内视为工艺难度最大却也是最优的解决方案。公司攻克的一次激光硼掺杂工艺是 TOPCon 技术的关键工艺，提升效率的同时，能够有效降低成本。

2022-12-14 00:00:00