网友提问 :您好,董秘,请问下成果中第7条产生极紫外辐射,是否可用于生产极紫外线光刻机

2024-07-10 17:12:30

海目星 (688559): 回答:您好。中红外飞秒激光技术为平台型技术,理论上可以激发极紫外光,但光刻机的极紫外光源的技术难度相对较高,目前我们的激光技术距离专业光源尚有差距。感谢关注。

2024-07-10 17:12:30

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法定名称:
海目星激光科技集团股份有限公司
公司简介:
2008年4月3日,深圳市海目星激光科技有限公司成立。
经营范围:
消费电子、动力电池、钣金加工等行业激光及自动化设备的研发、设计、生产及销售。
注册地址
广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区观盛五路科姆龙科技园B栋301
办公地址
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