京仪装备 (688652): 回答：您好，截至2023年6月30日，公司正在从事的主要研发项目有：集成电路制造新一代节能及多通道温控装备技术、集成电路制造温控装备信息采集及智慧化调测系统、集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发、集成电路专用超低温温控装置研发及产业化、半导体温控装备产品技术创新迭代及新部品技术设计开发及验证、半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研、新一代半导体工艺气体热反应处理装备及研究、集成电路X-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发、集成电路R-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发。谢谢。

2023-11-17 15:47:00