网友提问 :请问公司目前在晶圆传片设备方面取得了什么样的成果?
2023-11-17 14:38:00
京仪装备 (688652): 回答:您好,公司的晶圆传片设备分为直线型和回转型,分别采用单臂机械手和双臂机械手设计,应用于晶圆制造过程中的下线、传片、翻片、倒片、出厂。公司的晶圆传片设备采用自主知识产权的晶圆传控技术、晶圆翻片技术、晶圆自动寻心算法、微晶背接触传控技术和晶圆区域检测技术等,可实现全自动晶圆传送。谢谢。
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