网友提问 :公司已为上海同步辐射光源和高能同步辐射光源供应特种电源,同步辐射光源从原理上可以作为光刻机的潜在技术路线,请问公司是否有相关光刻机潜在技术路线的特种电源技术储备?
2023-11-03 15:03:45
爱科赛博 (688719): 回答:尊敬的投资者您好,同步辐射光源目前作为光刻机技术的潜在路线,我司已经参与上海同步辐射光源与高能同步辐射光源项目,并且其相关技术也应用于其他光源项目,详细信息已在公司招股说明书中披露,敬请参阅。感谢您的关注。
2023-11-03 15:03:45