网友提问 :请介绍一下公司光伏级大产能LPCVD技术?
2024-10-17 15:56:00
拉普拉斯 (688726): 回答:①LPCVD原成熟应用于半导体领域,但光伏相对于半导体的成本控制要求更高,隧穿氧化及掺杂多晶硅层对光伏电池片转换效率提升带来的收益与相应增加的工序成本相比较必须具有经济性,此外还有大产能的需求,对于结构构造、工艺设计提出了特殊的要求;②石英管损耗较高,增加了生产成本;③镀膜均匀度较差。
发行人凭借自身的技术积累,深入研究LPCVD的基本原理,以及光伏电池隧穿氧化及掺杂多晶硅层的工艺要求,结合上述痛点创造性地进行了气流控制设计、载片设计、非对称热场设计、硅片载具的创新设计、自适应串级温控设计、优化设备结构延长石英管寿命和提升产能,并自研新型石英管涂层技术进一步延长石英寿命,完成了光伏级大产能LPCVD的量产落地,为客户产品中隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备提供成熟的LPCVD解决方案,先后10余次帮助晶科能源和隆基绿能打破TOPCon光伏电池片转换效率的世界纪录。谢谢。
发行人凭借自身的技术积累,深入研究LPCVD的基本原理,以及光伏电池隧穿氧化及掺杂多晶硅层的工艺要求,结合上述痛点创造性地进行了气流控制设计、载片设计、非对称热场设计、硅片载具的创新设计、自适应串级温控设计、优化设备结构延长石英管寿命和提升产能,并自研新型石英管涂层技术进一步延长石英寿命,完成了光伏级大产能LPCVD的量产落地,为客户产品中隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备提供成熟的LPCVD解决方案,先后10余次帮助晶科能源和隆基绿能打破TOPCon光伏电池片转换效率的世界纪录。谢谢。
2024-10-17 15:56:00